182-serie
Kweekwaferhouders van 150 mm volgens de industriestandaard. Vier-punts contact op de 'H'-balk voor verbeterde waferpositionering. Met open zijwanden om belemmeringen voor vloeistoffen te beperken en bereikbaarheid en afvoer van oplossingen te bevorderen. Hoog profiel voor maximale bescherming van wafer.

'H'-balk koppeling voor apparaten
Pinnen en gaten in de bovenste rail
Chemisch bestendig natuurlijk PFA-materiaal
Aantal wafers: 25
D1-afmeting: 14,5 mm
Ruimte per vak: 4,8 mm
Dikte vakafscheiding: 1,5 mm

190-serie
Met laag profiel voor optimale prestaties in centrifugale toepassingen. Lage contouren voor verbeterde spuitpenetratie in de wafers. Met open zijwanden om belemmeringen voor vloeistoffen te beperken en bereikbaarheid en afvoer van oplossingen te bevorderen.

'H'-balk koppeling voor apparaten
Pinnen en gaten in de bovenste rail
Chemisch bestendig natuurlijk PFA-materiaal
Aantal wafers: 25
D1-afmeting: 14,5 mm
Ruimte per vak: 4,8 mm
Dikte vakafscheiding: 1,4 mm

194-serie
'Uitstekende geautomatiseerde proceshouder die steviger en vormvaster is. Vier-punts contact op de 'H'-balk en geleider voor betere waferpositionering. Met open zijwanden om belemmeringen voor vloeistoffen te beperken en bereikbaarheid en afvoer van oplossingen te bevorderen. Hoog profiel voor maximale bescherming van wafer.
Inkepingen op de geleider vinden voor het midden van het dertiende vak'.

'H'-balk koppeling voor apparaten
Pinnen en gaten in de bovenste rail
Chemisch bestendig natuurlijk PFA-materiaal
Aantal wafers: 25
D1-afmeting: 14,5 mm
Ruimte per vak: 4,8 mm
Dikte vakafscheiding: 1,5 mm