Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Sie können sie in Gasverteilern und Gaskabinetten verwenden, wo Reinstgas für die Waferverarbeitung erforderlich ist.
- Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
- Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
- Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
- PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration
Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl
Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Ventilboxen.
Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm
Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit
- Catalog No:
- ENTEWG2F32PS1
- ENTEWG2F02RR2
- ENTEWG2F02RR4
- ENTEWG2F02PS1
- ENTEWG2F02JJ4
- Material:
- PTFE
- PTFE
- PTFE
- PTFE
- PTFE
- Max. Differenzialdruck:
- Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C
- Max. operating pressure:
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- Leckraten:
- Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec
- Max. Arbeitstemperatur:
- 120 °C
- 120 °C
- 120 °C
- 120 °C
- 120 °C
- Dichtungsgröße:
- 3/8" compression seal
- 1/4" gasket seal
- 1/2" gasket seal
- 1/4" compression seal
- 1/2" butt weld tube
- Ein-/Auslass:
- Male/male
- Male/male
- Male/male
- Male/male
- -
- Ø×L:
- 25×119 mm
- 28×127 mm
- 28×133 mm
- 25×115 mm
- 28×133 mm
: VWR Chemicals
: VWR Collection
: VWR Collection
: VWR Chemicals
: KIMBERLY CLARK
: VWR Collection
: VWR Collection
: VWR Collection