Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro

Anbieter: ENTEGRIS

Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro

Anbieter: ENTEGRIS

Über diesen Artikel

Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Ihr kompakter Durchmesser ermöglicht eine einfache Installation in engen Gasverteilern und -kabinetten.

Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration

Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl

Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Prozesswerkzeuge für den Innenbereich.

Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm

Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit

Technische Daten

Catalog No:
ENTEWG2FT1SS2
ENTEWGFG01RH2
ENTEWG2FT1RF2
ENTEWG2FT1RR2
ENTEWG2FT1BW2

Material:
PTFE
PTFE
PTFE
PTFE

Max. Differenzialdruck:
Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C
Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C
Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C
Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C

Max. operating pressure:
207 bar @ 23 °C
207 bar @ 23 °C
207 bar @ 23 °C
207 bar @ 23 °C

Leckraten:
Qualified: 2 x 10^-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10^-9 atm-cc/sec
Qualified: 2 x 10^-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10^-9 atm-cc/sec
Qualified: 2 x 10^-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10^-9 atm-cc/sec
Qualified: 2 x 10^-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10^-9 atm-cc/sec

Max. Arbeitstemperatur:
120 °C
120 °C
120 °C
120 °C

Dichtungsgröße:
1/4" Swagelok® seal
1/4" gasket seal
1/4" gasket seal
1/4"

Ein-/Auslass:
Male/male
Male/female
Male/male
Buttweld

Ø×L:
19×74 mm
19×89 mm
19×84 mm
19×90 mm

Technische Daten

Frequently Bought Together

Aceton ≥99%, TECHNICAL

Anbieter: VWR Chemicals

Sealing film for manual application, Parafilm® M

Anbieter: HEATHROW

Acetonitril ≥99,9%, LiChrosolv® Reag. Ph. Eur., Gradienten-Qualität für die Flüssigchromatographie, Supelco®

Anbieter: Merck

Wasser, HiPerSolv CHROMANORM® für die HPLC

Anbieter: VWR Chemicals

Methanol ≥99,8%, HiPerSolv CHROMANORM® Reag. Ph. Eur., Gradienten-Qualität für die HPLC

Anbieter: VWR Chemicals

VWR®, Transferpipetten, High Performance

Anbieter: VWR Collection

Acetonitril, wasserfrei (max. 0,003% H₂O) ≥99,95%, HiPerSolv CHROMANORM® Reag. USP, Reag. Ph. Eur., ACS, Supergradienten-Qualität geeignet für UPLC/UHPLC-Instrumente

Anbieter: VWR Chemicals

VWR® NITRILE LIGHT, Nitrilhandschuhe

Anbieter: VWR Collection

VWR®, Serologische Pipetten, Standard Serie

Anbieter: VWR Collection

Nitrilhandschuhe, Kimtech™ Purple Nitrile™

Anbieter: KIMBERLY CLARK

Natriumhydroxid 0.1 mol/l (0.1 N) in wässriger Lösung, AVS TITRINORM Reag. Ph. Eur. volumetrische Lösung

Anbieter: VWR Chemicals

VWR® Gesichtstücher

Anbieter: VWR Collection

Acetonitril ≥99,9%, HiPerSolv CHROMANORM® für die LC-MS, geeignet für UPLC/UHPLC-Instrumente

Anbieter: VWR Chemicals

pH-Indikatorstäbchen, MQuant®, Supelco®

Anbieter: Merck

VWR®, Nitrilhandschuhe

Anbieter: VWR Collection