Inline-Gasfilter, Wafergard® III NF Mini und Mini XL
: ENTEGRIS
Die einzigartige Nickel-Filtermembran dieser Inline-Gasfilter bietet eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und ausgezeichnete Kompatibilität mit inerten und reaktiven Gasen. Nicht empfohlen zur Verwendung mit CO, O₃ und Gasen mit geringen Mengen von Hydrid-Dotierungsstoffen.
- Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
- Gehäuseaufbau verhindert Ausgasung durch die Minimierung des Schweißbereichs
- Verhindert Ausgasen, verbessert die Korrosionsbeständigkeit und bietet hervorragende chemische Kompatibilität
Filterelement: patentierte, gesinterte Nickelmembran; Gehäuse: elektropolierter VAR 316L-Edelstahl
Anwendungen: Reinstgasleitungen, Hochtemperatur- und Staudruck-Anwendungen, neue FAB-Konstruktion, inerte und reaktive Gase.
Downstream-Reinheit: <0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) >0,01 μm
- Catalog No:
- ENTEWG3NS2RR2
- ENTEWG3NS2RR4
- ENTEWG3NS1RR2
- Material:
- Nickel
- Nickel
- Nickel
- Max. Differenzialdruck:
- Forward/reverse: 20
- Forward/reverse: 20
- Forward/reverse: 20
- Max. operating pressure:
- 165 bar @ 100 °C
- 165 bar @ 100 °C
- 165 bar @ 100 °C
- Leckraten:
- Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec - Qualified: 2 x 10-10 atm-cc/sec
Tested: 1 x 10-9 atm-cc/sec
- Max. Arbeitstemperatur:
- Inert gases: 400 °C at 83 bar
Corrosive and reactive gases 50 °C at 165 bar - Inert gases: 400 °C at 83 bar
Corrosive and reactive gases 50 °C at 165 bar - Inert gases: 400 °C at 83 bar
Corrosive and reactive gases 50 °C at 165 bar
- Dichtungsgröße:
- 1/4" gasket seal
- 1/2" gasket seal
- 1/4" gasket seal
- Ein-/Auslass:
- Male/male
- Male/male
- Male/male
- Ø×L:
- 28,5×127 mm
- 28,5×133 mm
- 28,5×84 mm
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