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Supplier: ENTEGRIS

Clean and secure thin wafer transport. Dramatically enhanced performance for thin wafer products.

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GateKeeper® GPU gas purifiers were designed to improve purity consistency, lifetime and final purity. Leveraging its expertise in material science, Entegris has developed a new generation of purification products that deliver unsurpassed value and performance.

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En ETFE. Utilisé pour nettoyer ou graver les petites pièces. S'adapte aux béchers de 400 ml et plus.

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Entegris propose une large sélection de plateaux carrés de 2" de la série H 20, de couvercles et d'accessoires pour répondre à l'évolution de vos besoins. Les plateaux de la série H 20 sont disponibles en différentes tailles et profondeurs de poches, avec ou sans trous de lavage et fentes pour pinces. Les produits de la série H 20 offrent une fiabilité reconnue pour la manipulation des puces nues, y compris :

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Provide excellent security for masks and reticles with pellicles.

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Recommandés pour les gaz inertes et réactifs, ces filtres offrent une excellente compatibilité avec toutes les classes de gaz de fabrication de semi-conducteurs. Utilisez-les dans les panneaux gaz et les armoires gaz dans lesquels un gaz ultra-pur est nécessaire pour la fabrication de wafers.

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Kapton® wrap for 1/2” and 3/4” components, Pour: Cynergy Weld-in-Place

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Ces filtres à cartouche sont largement utilisés dans l'industrie chimique, électronique et des semi-conducteurs pour les applications de préfiltration de liquides et de gaz. Ils retiennent les contaminants grâce à une conception multi-étapes, à densité progressive.

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Ces filtres sont compatibles avec les gaz haute pureté ainsi que les applications générales relatives à l'azote et CDA. Disponibles avec des niveaux de performances Bronze et Silver, ils sont spécifiquement conçus pour des applications de pression à haut débit et faible pression différentielle. Ils offrent une protection optimale en éliminant tout contaminant susceptible de détériorer la qualité des processus.

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Made of PFA, DuPont 450.

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O-ring free design, ¹/₂ or ¹/₄" orifice.

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Available compliant to SEMI Standard F57-0312, the specification for polymer components used in ultrapure water and liquid chemical distribution systems. Three-ported directional valve enables simplification of piping system design while minimising its footprint. All PFA wetted surfaces for ultrapure and corrosion resistant performance.

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These are compact, all-metal filters that fit in place of standard ¹/₄", ³/₈" and ¹/₂" VCR® gaskets in gas distribution systems. They protect sensitive gas components, such as mass flow controllers, regulators and valves from particle damage in applications up to 400 °C.

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Filtres à usage unique, haute performance, pour les applications à faible débit. Ces filtres sont compatibles avec une large gamme d'acides, de bases et de solvants non inflammables à température ambiante.

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ETFE, blanc. Pinces résistantes pour la manipulation de substrats.

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HDPE, triple layer.

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These components are constructed of high purity PFA and PTFE materials for wetted parts and PVDF, PEEK™ and PTFE u-cup with Viton® energizer for non wetted parts.

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Cover for round tank, in PFA

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This 3-way valve (patent-pending) has an all-PFA valve body and high purity fluoropolymer wetted components providing a noncontaminating fluid stream and chemically compatible construction. Compliant to SEMI Standard F57-0301, the specification for polymer components used in ultrapure water and liquid chemical distribution systems.

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Two- or three-way diaphragm valves, ¹/₄" orifice, normally closed.

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Flaretek®, 1" tube flaring mandrel

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Microgard UPE/UPX filters do not require prewetting with solvent-based photochemicals. All PE construction lowers metallic and ionic contamination that can leach from filters that are manufactured with materials such as PP and nylon.

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These filter disc series can be used for simple, quick and efficient filtration of fluids used in laboratory, pilot and small scale applications.

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Wafer handling trays to safely transport and protect silicon wafers.

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Available compliant to SEMI Standard F57-0312, the specification for polymer components used in ultrapure water and liquid chemical distribution systems. Valve design allows ultrapure water to continuously bypass the diaphragm, eliminating water stagnation and bacteria formation in the valve. Manually adjustable, integral needle valve provides precise control of bypass flow.

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For shipping and storage applications. Holds one wafer face down contacting only the wafer's edges. Replaceable cushions securely retain the wafer to minimise particle generation. Single latch provides secure closure and easy opening.

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Wafer handling, Wafer storage boxes for 2,5" and smaller wafer handling, E 04 series, Polystyrène, noir

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Smaller than most comparable valves, ¹/₄" CR4 series valves are ideal for handling wet etch and clean process chemicals. These durable valves can handle temperatures up to 160 °C at 276 kPa.

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Offers precise point-of-use chemical flow control and is designed for point-of-use blending and dispense applications requiring medium to high flow rates (2,5 to 40 L/min).

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Savana® Lab Disc disposable filters have been specially designed for simple, quick and efficient filtration of liquids used in laboratory, pilot and small-scale applications.