Ces filtres offrent une filtration supérieure pour les applications critiques de nettoyage aqueux et à faible pH neutre, dilué, avec des nœuds technologiques avancés. La double membrane de capture, propre, améliore les performances du procédé et réduit les défauts sur le wafer. En plus du tamisage des particules capturées, qui est toujours actif, les mécanismes de rétention sans tamisage sont également actifs et plus forts dans des conditions où le pH est de <3 et où aucun agent tensioactif n'est présent.

• Membrane hydrophile - aucune pré-humidification ni rinçage requis
• Élimination rapide des particules et contrôle des microbulles pour un un démarrage plus rapide du bain et une qualification plus rapide du système, et des rendements accrus

Membrane : PE à poids moléculaire ultra-élevé hydrophile (UPE) ; supports, corps et manchette : PE-HD

Température de fonctionnement maximale : 70 °C

Pression différentielle maximale avant : 3,4 bar à 25 °C

Pression différentielle maximale arrière : 2,1 bar à 25 °C