Série 182
Portoir de cachets pour traitement de 150 mm de norme industrielle. Contact à quatre points sur la barre en « H » pour un meilleur positionnement des cachets. Style mural ouvert pour minimiser l'emprisonnement de liquide et favoriser une couverture et une évacuation uniforme des solutions. Profil haut pour une protection maximale des cachets.

Interface de l'équipement à barre en « H »
Broches et orifices sur le rail supérieur
Matériau en PFA naturel résistant aux produits chimiques
Capacité de cachets : 25
Dimension D1 : 14,5 mm
Espacement entre les poches : 4,8 mm
Poche plate : 1,5 mm

Série 190
Profil bas pour des performances optimales dans les applications par centrifugation. Contour bas pour une meilleure pénétration des substances pulvérisées sur les cachets. Style mural ouvert pour minimiser l'emprisonnement de liquide et favoriser la couverture et l'évacuation uniforme des solutions.

Interface de l'équipement à barre en « H »
Broches et orifices sur le rail supérieur
Matériau en PFA naturel résistant aux produits chimiques
Capacité de cachets : 25
Dimension D1 : 14,5 mm
Espacement entre les poches : 4,8 mm
Poche plate : 1,4 mm

194 Series
Superior process carrier automation performance. Improved process carrier rigidity and dimensional stability. Four-point contact on the 'H' bar and track for improved wafer positioning. Open sidewall design to minimize liquid traps and promote even solution coverage and drainage. High profile design for maximum wafer protection.
Locating track notches for the center of the thirteenth pocket.

Interface de l'équipement à barre en « H »
Broches et orifices sur le rail supérieur
Matériau en PFA naturel résistant aux produits chimiques
Capacité de cachets : 25
Dimension D1 : 14,5 mm
Espacement entre les poches : 4,8 mm
Poche plate : 1,5 mm