Diese Filter bieten eine überlegene Filtration für kritische verdünnte, wässrige und Reinigungsanwendungen mit geringen oder neutralen pH-Werten in fortschrittlichen Technologiebereichen. Die saubere Doppelerfassungsmembran verbessert die Prozessleistung und reduziert On-Wafer-Defekte. Neben der ständig aktiven Sieberfassung von Partikeln sind auch die Mechanismen für eine nicht durch Siebung erfolgende Retention aktiv und erweisen sich am wirkungsvollsten unter Bedingungen mit einem pH-Wert von <3 und ohne Vorhandensein von Tensiden.

• Hydrophile Membran – kein Befeuchten oder Durchspülen erforderlich
• Schnelle Entfernung von Partikeln und Kontrolle von Mikroblasen für eine schnellere Badeinrichtung/Systemqualifikation und eine höhere Ausbeute

Membran: Hydrophiles ultrahochmolekulares PE (UPE); Medienhalter, innerer Stützkörper und äußerer Stützkörper: PE-HD

Maximale Betriebstemperatur: 70 °C

Maximaler Vorwärts-Differenzdruck: 3,4 bar bei 25 °C

Maximaler Rückwärts-Differenzdruck: 2,1 bar bei 25 °C