Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Ihr kompakter Durchmesser ermöglicht eine einfache Installation in engen Gasverteilern und -kabinetten.
- Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
- Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
- Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
- PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration
Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl
Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Prozesswerkzeuge für den Innenbereich.
Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm
Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit
- Catalog No:
- ENTEWG2FT1SS2
- ENTEWGFG01RH2
- ENTEWG2FT1RF2
- ENTEWG2FT1RR2
- ENTEWG2FT1BW2
- Material:
- PTFE
- PTFE
- PTFE
- PTFE
- Max. Differenzialdruck:
- Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C - Forward: 4 bar at 23 °C
Reverse: 0,7 bar at 23 °C
- Max. operating pressure:
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- 207 bar @ 23 °C
- Leckraten:
- Qualifiziert: 2×10-10 atm-ml/s
Getestet: 1×10-9 atm-ml/s - Qualifiziert: 2×10-10 atm-ml/s
Getestet: 1×10-9 atm-ml/s - Qualifiziert: 2×10-10 atm-ml/s
Getestet: 1×10-9 atm-ml/s - Qualifiziert: 2×10-10 atm-ml/s
Getestet: 1×10-9 atm-ml/s
- Max. Arbeitstemperatur:
- 120 °C
- 120 °C
- 120 °C
- 120 °C
- Dichtungsgröße:
- 1/4" Swagelok® Dichtung
- 1/4"-Flachdichtung
- 1/4"-Flachdichtung
- 1/4"
- Ein-/Auslass:
- Männlich/männlich
- Männlich/weiblich
- Männlich/männlich
- Stumpfverschweißung
- Ø×L:
- 19×74 mm
- 19×89 mm
- 19×84 mm
- 19×90 mm
: VWR Collection
: KIMBERLY CLARK
: VWR Collection
: VWR Collection
: VWR Chemicals
: VWR Chemicals
: VWR Collection
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