Serie 182
Branchenübliche 150-mm-Prozesswafer-Träger. Vierpunktauflage auf dem „H“-Profil für verbesserte Wafer-Positionierung. Offenes Seitenwand-Design um Flüssigkeitsfallen zu verhindern und die gleichmäßige Bedeckung mit und den Ablauf von der Lösung zu begünstigen. Hohe Form für maximalen Schutz von Wafern.

'H' bar equipment interface
Pins and holes on the top rail
Chemical resistant natural PFA material
Wafer capacity: 25
D1 dimension: 14,5 mm
Pocket spacing: 4,8 mm
Pocket flat: 1,5 mm

190 Serie
Flache Form für optimale Leistung in Zentrifugenanwendungen. Niedrige Kontur für ein verbessertes Besprühen der Wafer Offenes Seitenwand-Design, um Flüssigkeitsfallen zu verhindern und die gleichmäßige Bedeckung mit und den Ablauf der Lösung zu begünstigen.

„H“-Profil-Instrumentenschnittstelle
Stifte und Öffnungen an der obersten Schiene
Chemikalienbeständiges natürliches PFA-Material
Waferkapazität: 25
D1 Abmessung: 14,5 mm
Taschenabstand: 4,8 mm
Taschenhöhe: 1,4 mm

Serie 194
Ausgezeichnete Leistung in automatisierten Prozessträger-Systemen. Verbesserte Steifigkeit und Formstabilität des Prozessträgers. Vierpunktauflage auf dem „H“-Profil und Schiene für verbesserte Wafer-Positionierung. Offenes Seitenwand-Design, um Flüssigkeitsfallen zu verhindern und die gleichmäßige Bedeckung mit und den Ablauf der Lösung zu begünstigen. Hohe Form für maximalen Schutz von Wafern. Lokalisierungskerben in der Mitte der dreizehnten Tasche.

„H“-Profil-Instrumentenschnittstelle
Stifte und Öffnungen an der obersten Schiene
Chemikalienbeständiges natürliches PFA-Material
Waferkapazität: 25
D1 Abmessungen: 14,5 mm
Taschenabstand: 4,8 mm
Taschenhöhe: 1,5 mm